本建设标准共分七章:总则、建设规模与项目构成、工艺与装备、配套工程、环境保护与安全卫生、建筑与建设用地、主要技术经济指标。

第一章 总则 6 

第二章 建设规模与项目构成 7 

第三章 工艺与装备 8 

第四章 配套工程 9 

第五章 环境保护与安全卫生 10 

第六章 建筑与建设用地 11 

第七章 主要技术经济指标 12 

附加说明 15 

附件 集成电路生产厂建设标准条文说明 16 

第一章 总则 19 

第二章 建设规模与项目构成 20 

第三章 工艺与装备 21 

第四章 配套工程 22 

第五章 环境保护与安全卫生 23 

第六章 建筑与建设用地 24 

第七章 主要技术经济指标 26