GB51343-2018 1

1 总则 11

2 术语 12

3 基本规定 13

4 生产线工艺设计 15

4.1 工艺流程 15

4.2 设备配置 16

4.3 工艺布局 18

5 配套设施要求 20

5.1 表面处理工艺 20

5.2 装配、焊接工艺 21

5.3 排气工艺 22

5.4 老炼及测试工艺 22

6 设备安装 24

6.1 安装条件 24

6.2 设备开箱 24

6.3 设备搬运 25

6.4 设备安装 25

6.5 二次配管配线 30

7 设备调试与试运行 32

7.1 一般规定 32

7.2 清洗、镀覆设备调试与试运行 32

7.3 装配、焊接和排气设备调试与试运行 34

7.4 老炼设备调试与试运行 37

7.5 测试设备调试与试运行 38

7.6 自动化生产线联线调试与试运行 40

8 工程验收 42

8.1 一般规定 42

8.2 交接验收 42

8.3 竣工验收 43

8.4 验收不合格的处置 43

附录A 真空电子器件生产线设备安装工程施工工艺条件 44

附录B 真空电子器件生产线设备安装工程质量验收记录用表 47

本标准用词说明 55

引用标准名录 56

附: 条文说明 57

1 总则 60

3 基本规定 61

4 生产线工艺设计 63

4.1 工艺流程 63

5 配套设施要求 65

5.1 表面处理工艺 65

5.2 装配、焊接工艺 65

5.3 排气工艺 65

5.4 老炼及测试工艺 66

6 设备安装 67

6.4 设备安装 67

6.5 二次配管配线 67

5.1.4 表面处理工艺使用腐蚀性化学品区域应设置紧急冲身洗眼器。

5.2.5 用氢场所应设置机械通风装置和事故排风装置; 应设置气体泄漏报警装置，并与事故排风装置联锁。

5.4.3 高压老炼和测试场所应设置紧急制动装置和门机联锁装置。