GB/T 42263-2022 硅单晶中氮含量的测定 二次离子质谱法
标准编号：GB/T 42263-2022
规范名称：硅单晶中氮含量的测定 二次离子质谱法
该国家标准描述了硅单晶中氮含量的二次离子质谱测试方法。
该国家标准适用于硼、锑、砷、磷的掺杂浓度小于1×1020cm-3（0.2%）的硅单晶中氮含量的测定，测定范围不小于1×1014cm-3。
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：中国电子科技集团公司第四十六研究所、有色金属技术经济研究院有限责任公司
起草人：马农农、何友琴、刘立娜、何烜坤、李素青、陈潇
GB/T 42263-2022 硅单晶中氮含量的测定 二次离子质谱法(图)
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