目录 1

1 总 则 12

2 术 语 13

3 基本规定 14

4 工 艺 15

4.1 一般规定 15

4,2 基本工序与生产协作 15

4.3 工艺区划 16

4,4 设备布置 16

5 总 图 17

5.1 厂址选择 17

5,2 总平面布置 17

6 建 筑 19

6,1 一般规定 19

6.2 防火及安全疏散 19

7 结 构 21

7.1 一般规定 21

7.2 结构设计 21

8 动力及气体工程 23

8,1 冷热源 23

8.2 大宗气体供应 24

8.3 特种气体供应 25

8.4 动力气体供应 27

9 供暖、通风、空气调节与净化 29

9.1 一般规定 29

9.2 供暖、通风与废气处理 29

9.3 空气调节与净化 31

9.4 防排烟 32

10 给水排水 33

10.1 一般规定 33

10.2 一般给水排水 33

10.3 纯水 34

10.4 工艺冷却循环水 34

lO.5 废水处理 35

10.6 消防 35

11 电 气 37

l1.l 供配电与照明 37

11.2 防雷与接地 38

11.3 白控 38

11.4 通信 39

11,5 安全防护 39

12 防静电 41

12.1 一般规定 41

12.2 防静电措施 41

12.3 防静电接地 43

13 空间管理 44

13.1 一般规定 44

13.2 管线布置 44

附录A 发光二极管典型生产环境要求 46

附录B 发光二极管生产工艺动力品质要求 47

附录C 发光二极管生产的典型工艺流程 49

本规范用词说明 51

引用标准名录 52

附:条文说明 54

1 总 则 60

2 术 语 61

3 基本规定 62

4 工 艺 63

4,1 一般规定 63

4.2 基本工序与生产协作 64

4.3 工艺区划 64

4.4 设备布置 65

5 总 图 66

5.1 厂址选择 66

5.2 总平面布置 67

6 建 筑 68

6.1 一般规定 68

6.2 防火及安全疏散 69

7 结 构 72

7.1 一般规定 72

7,2 结构设计 72

8 动力及气体工程 74

8.1 冷热源 74

8.2 大宗气体供应 75

8.3 特种气体供应 76

8.4 动力气体供应 78

9 供暖、通风、空气调节与净化 80

9.1 一般规定 80

9.2 供暖、通风与废气处理 80

9.3 空气调节与净化 82

9,4 防排烟 83

10 给水排水 85

10.1 一般规定 85

10.2 一般给水排水 85

10.3 纯水 87

10.4 工艺冷却循环水 87

10.5 废水处理 88

10.6 消防 88

11 电 气 89

11.1 供配电与照明 89

11.2 防雷与接地 91

11.4 通信 91

11.5 安全防护 91

12 防静电 94

12.1 一般规定 94

12,2 防静电措施 95

12.3 防静电接地 96

13 空间管理 97

13.l 一般规定 97

13.2 管线布置 97

8.2.3 设有氢气等可燃气体装置的气体纯化间或气体入口室的火灾危险性应按甲类确定,并应符合下列规定:

1 应靠外墙设置,并应设置防爆泄压设施;

2 氢气等可燃气体引入管道上应设置自动切断阀;

3 应具有机械通风装置,并应设置事故排风装置;

4 应设置气体泄漏报舍装置,并应与事故排风装置联锁。

8.3.3 特种气体系统的气瓶柜、气瓶架的设置应符合下列规定:

1 不相容气体瓶严禁放置于同一气瓶柜或气瓶架中;

8.3.9 自燃、可燃、氧化性特种气体管道,应设置静电泄放的接地设施。

8.3.11 当特种气体为硅烷、磷烷、砷烷时,应采用双层管道设计

10.2.9 厂区化学品存储、分配、收集、卸货区域应设置事故排水的储存设施。