本规范共分14章和2个附录,主要内容包括总则,术语,基本规定,工艺,厂址选择及总体规划,建筑,结构,气体动力,供暖、通风、空气调节与净化,给水排水,电气,防静电,化学品,空间管理等。

GB51136-2015 1

1 总则 13

2 术语 14

3 基本规定 16

4 工艺 17

4.1 一般规定 17

4.2 基本工序 17

4.3 工艺区划 17

4.4 设备配置 18

5 厂址选择及总体规划 20

5.1 厂址选择 20

5.2 总体规划 20

6 建筑 22

6.1 一般规定 22

6.2 防火及安全疏散 22

7 结构 25

7.1 一般规定 25

7.2 厂房结构设计 25

7.3 微振动控制标准 26

7.4 微振动控制设计及测试 27

7.5 基座平台设计 27

8 气体动力 29

8.1 冷、热源 29

8.2 大宗气体供应 30

8.3 特种气体供应 31

8.4 压缩空气供应 33

8.5 工艺真空和清扫真空 34

9 供暖、通风、空气调节与净化 35

9.1 一般规定 35

9.2 采暖、通风与废气处理 35

9.3 空气调节与净化 38

9.4 防排烟 40

10 给水排水 41

10.1 一般规定 41

10.2 一般给水排水 41

10.3 纯水 42

10.4 工艺冷却循环水 42

10.5 废水 43

10.6 消防给水及灭火设施 43

11 电气 45

11.1 供配电与照明 45

11.2 防雷与接地 46

11.3 火灾报警及消防联动 46

11.4 通信及自控 48

12 防静电 49

12.1 一般规定 49

12.2 防静电措施 50

12.3 防静电接地 51

13 化学品 53

13.1 一般规定 53

13.2 化学品储存和配送 53

13.3 管材、阀门 56

13.4 化学品废液收集团收 56

14 空间管理 58

14.1 一般规定 58

14.2 管线布置 59

14.3 共用管道支、吊架 60

附录A 薄膜晶体管液晶显示器生产工艺流程 61

附录B 微振动标准VC曲线 63

本规范用词说明 65

引用标准名录 66

附: 条文说明 68

10.2.5 下列区域应设置能够存储事故排水的设施：

1 存储、分配、收集液态化学品的房间；

2 液态化学品室外卸货区域。

10.5.2 敷设于地下的废水收集及输送管路应符合下列规定：

2 当废水收集及输送管路需要直埋敷设时，应采取双套管和设置泄漏监测装置防止废水泄漏的措施。

10.6.6 化学品储存、分配、回收间的灭火系统应符合下列规定：

1 存储的化学品遇水可发生剧烈反应，产生不良后果的，该房间严禁采用水消防系统；