本规范共分12章和3个附录,主要内容包括:总则,术语,基本规定,厂址选择及厂区规划,工艺设计,电气及自动化,辅助设施,建筑结构,给水、排水和消防,采暖、通风与空气调节,环境保护、安全和卫生,节能、余热回收等。

GB51034-2014 1 

1 总 则 13 

2 术 语 15 

3 基本规定 16 

4 厂址选择及厂区规划 17 

4.1 厂址选择 17 

4.2 厂区规划 18 

5 工艺设计 21 

5.1 一般规定 21 

5.2 三氯氢硅合成和四氯化硅氢化 22 

5.3 氯硅烷提纯 23 

5.4 三氯氢硅氢还原 24 

5.5 还原尾气干法回收 24 

5.6 硅芯制备及多晶硅产品后处理 25 

5.7 分析检测 26 

6 电气及自动化 27 

6.1 电气 27 

6.2 自动化 29 

7 辅助设施 36 

7.1 压缩空气站 36 

7.2 制氮站 36 

7.3 制氢站 37 

7.4 导热油 37 

7.5 纯水制备 37 

7.6 制冷 40 

7.7 蒸汽 40 

8 建筑结构 42 

8.1 一般规定 42 

8.2 主要生产厂房和辅助用房 44 

8.3 防火、防爆 46 

8.4 洁净设计及装修 48 

8.5 防腐蚀 49 

8.6 结构设计 50 

9 给水、排水和消防 55 

9.1 给水 55 

9.2 排水 55 

9.3 废水处理 56 

9.4 循环冷却水系统 56 

9.5 消防 57 

10 采暖、通风与空气调节 58 

10.1 一般规定 58 

10.2 通风 58 

10.3 空气调节与净化 60 

10.4 防排烟 61 

10.5 空调冷热源 62 

11 环境保护、安全和卫生 64 

11.1 环境保护 64 

11.2 安全 64 

11.3 卫生 65 

12 节能、余热回收 66 

12.1 一般规定 66 

12.2 生产工艺 66 

附录A 地下管线与建(构)筑物之间的最小水平净距 68 

附录B 地下管线之间的最小水平净距 69 

附录C 主要房间空气洁净度、温度、湿度 70 

本规范用词说明 72 

引用标准名录 73 

附:条文说明 77 

1 总 则 80 

2 术 语 81 

3 基本规定 82 

4 厂址选择及厂区规划 83 

4.1 厂址选择 83 

4.2 厂区规划 84 

5 工艺设计 86 

5.1 一般规定 86 

5.2 三氯氢硅合成和四氯化硅氢化 87 

5.3 氯硅烷提纯 88 

5.4 三氯氢硅氢还原 88 

5.5 还原尾气干法回收 89 

5.6 硅芯制备及多晶硅产品后处理 89 

5.7 分析检测 89 

6 电气及自动化 90 

6.1 电气 90 

6.2 自动化 91 

7 辅助设施 93 

7.1 压缩空气站 93 

7.2 制氮站 93 

7.3 制氢站 93 

7.4 导热油 94 

7.5 纯水制备 94 

7.6 制冷 94 

7.7 蒸汽 94 

8 建筑结构 96 

8.1 一般规定 96 

8.2 主要生产厂房和辅助用房 98 

8.3 防火、防爆 100 

8.4 洁净设计及装修 102 

8.5 防腐蚀 103 

8.6 结构设计 104 

9 给水、排水和消防 106 

9.1 给水 106 

9.2 排水 106 

9.3 废水处理 107 

9.4 循环冷却水系统 107 

9.5 消防 108 

10 采暖、通风与空气调节 109 

10.1 一般规定 109 

10.2 通风 109 

10.3 空气调节与净化 112 

10.4 防排烟 114 

10.5 空调冷热源 115 

11 环境保护、安全和卫生 117 

11.1 环境保护 117 

11.2 安全 117 

11.3 卫生 117 

12 节能、余热回收 119 

12.1 一般规定 119 

12.2 生产工艺 119 

4.2.8 厂区内或附近必须设置四氯化硅等还原反应副产物综合利用或处理设施,四氯化硅等还原反应副产物应综合利用,并应做到无害化处理。

6.1.3 电源电压选择及供电系统应符合下列规定:

9 应急电源与正常电源之间必须采取防止并列运行的措施。

6.1.6 防雷及接地系统可由电气系统工作接地、设备接地、静电接地、方培保护接地组成,应符合下列规定:

3 对爆炸、火灾危险场所内可能产生静电危险的设备和管道应采取静电接地措施,每组专设的静电接地体的接地电阻值应小于100Ω。

6.2.8 可燃、有毒气体检测仪表设计及选型应符合现行国家标准《石油化工可燃气体和有毒气体检测报警设计规范》GB50493的有关规定,并应符合下列规定:

3 报警信号必须发送至现场报警器和有人值守的控制室或现场操作室的指示报警设备,并必须进行声光报警;

8.1.1 建(构)筑物的火灾危险性分类、耐火等级不应低于表8.1.1的规定。

表8.1.1 建(构)筑物的火灾危险性分类、耐火等级

01

8.2.1 还原厂房及辅助设施的布置应符合下列规定:

2 还原炉室为甲类火险且有防爆要求时,厂房内不应设置办公室、休息室。其他辅助房及卫生间等需要布置时,必须布置在还原炉室端墙贴邻一侧,并应采用耐火极限不低于3.0h的不燃体防爆防护墙与还原炉室分隔。当防爆防护墙兼作防火墙时,耐火极限应为4.0h。

3 变压器室、调功器室、高压启动室、炉体清洗检修间、炉体冷却水系统等辅助房间,应与还原炉室布置在不同的隔间或防火分区内,并必须用防火墙、防爆防护墙、防火楼板分隔,平面布置应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》GB 50016的有关规定;还原炉室墙外侧有汇流排等易燃易爆设施时,应设置具有防爆防护功能的半高隔墙。

5 还原厂房应采用封闭楼梯间,直通还原炉室的封闭楼梯间应设置具有防爆防护功能的前室。

8.2.5 辅助用房设计应符合下列规定:

3 中央控制室同其他建筑合建时应划分成独立的防火分区。当合建的建筑位于爆炸危险区内时,应采取防爆防护措施,建筑的安全出口不应直接面对有爆炸危险的装置。

8.3.1 还原、整理厂房的防火、防爆设计应符合下列规定:

2 还原炉室应采用泄爆墙及带有通风设施的泄压屋面,在外墙设置泄压面时应对室外贴邻的汇流排等易燃易爆设施设置保护性的防爆防护半高隔墙。外墙与屋面泄压面积应符合下列规定:

1)泄压面积的计算应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》GB 50016的有关规定。

2)泄压设施应采用易于脱落的轻质屋盖、易于泄压的门和窗及轻质墙体作为泄压面积。作为泄压面积的轻质墙体及轻质屋面板自重不得超过60kg/m2,材料的燃烧性能应为A级。

3 还原炉室防爆防护墙上开的门应为防爆门,防爆门的耐火极限不应低于0.90h,当防爆墙兼作防火墙时,防爆门的耐火极限不应低于1.20h,通向疏散通道和疏散楼梯的防爆门开启方向应朝向疏散方向。

8.3.2 制氢站防火、防爆设计应符合下列规定:

2 制氢装置房间与其他辅助房间应用防爆防护墙分隔,制氢装置房间的屋面或墙面应设置泄压面积;

8.6.4 多晶硅厂房设计应说明结构用途,在设计使用年限内未经技术鉴定或设计许可,不得改变结构用途和使用环境。

9.1.3 可能发生物料泄漏的装置区及储罐区必须设置紧急淋浴器和洗眼器。

9.3.4 高浓度含氟废液必须采取预处理措施。

9.4.3 硅芯拉制炉、单晶炉和还原炉电极的循环水系统必须采取相应的保安措施。

9.5.2 多晶硅工厂装置区、储罐区必须设置独立的稳高压消防给水系统,其压力应为0.5MPa~1.2MPa。其他场所应设置低压消防给水系统。

10.1.3 严寒地区还原车间的管道夹层采用热风采暖时,不应回风。

10.3.4 空调系统新风量应取下列两项中的较大值:

1 补偿室内排风量和保持室内正压值所需新风量之和;

2 保证供给室内每人每小时的新风量,洁净区不应小于40,非洁净区不应小于30m³。

10.3.6 洁净室与周围区域的压差应符合下列规定:

1 不同等级的洁净区之间的压差不应小于5Pa;

2 洁净区与非洁净区之间的压差不应小于5Pa;

3 洁净区与室外的压差不应小于10Pa。

10.3.9 还原车间应独立设置直流空调送风系统,不应回风。

11.1.6 废渣、废液应根据不同情况分别处理,含氯硅烷的废液和含镍的废硅粉必须无害化处理,污水处理产生的中性渣应外卖、渣场堆存或深埋处理。

11.2.3 三氯氢硅合成、还原、四氯化硅氢化、还原尾气干法回收、制氢站、氯硅烷罐区等装置区内,必须根据物料的危害特性和工况条件设置仪表检测报警、自动连锁保护系统、消防应急联动系统和紧急停车装置。

12.2.5 多晶硅工厂必须同步设计余热利用系统;还原炉和氢化反应的余热回收应用于提纯精馏塔再沸器的加热,且余热利用系统不应影响多晶硅正常生产,不应提高多晶硅能耗或降低产量。

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