GB51401-2019 1 

1 总则 12 

2 术语 13 

3 基本规定 16 

4 工艺及工艺设备 23 

4.1 一般规定 23 

4.2 污染物控制 23 

4.3 应急设施 23 

5 碱性废气系统 25 

5.1 一般规定 25 

5.2 处理流程和方法 25 

5.3 处理设备 25 

5.4 风管及附件 27 

6 酸性废气系统 28 

6.1 一般规定 28 

6.2 氮氧化物、高浓度酸及电镀废气 28 

7 挥发性有机物废气系统 30 

7.1 一般规定 30 

7.2 废气收集、排风管道系统 31 

7.3 处理系统 31 

7.4 处理设备 33 

7.5 自动控制及安全措施 35 

8 特种废气系统 37 

8.1 一般规定 37 

8.2 烷类尾气处理系统 37 

8.3 全氟化合物（PFC）尾气处理系统 38 

8.4 其他特种尾气处理系统 39 

8.5 中央废气处理系统 39 

9 除尘系统 41 

9.1 一般规定 41 

9.2 系统设计、处理流程及方法 41 

9.3 处理设备 43 

9.4 风管及附件 44 

10 电子玻璃窑炉废气系统 47 

10.1 一般规定 47 

10.2 系统设计、处理流程及方法 47 

10.3 处理设备 48 

10.4 风管及附件 50 

11 事故通风 51 

11.1 一般规定 51 

11.2 系统设计及有害气体净化 52 

12 电气设计 55 

12.1 供配电与照明 55 

12.2 防雷与接地 55 

附录A 电子工业常用高毒物品的立即危害生命和健康浓度（IDLH） 57 

本标准用词说明 58 

引用标准名录 59 

附：条文说明 60 

1 总则 64 

3 基本规定 65 

4 工艺及工艺设备 74 

4.1 一般规定 74 

4.2 污染物控制 76 

4.3 应急设施 78 

5 碱性废气系统 80 

5.1 一般规定 80 

5.2 处理流程和方法 81 

5.3 处理设备 81 

5.4 风管及附件 82 

6 酸性废气系统 84 

6.1 一般规定 84 

6.2 氮氧化物、高浓度酸及电镀废气 84 

7 挥发性有机物废气系统 85 

7.1 一般规定 85 

7.2 废气收集、排风管道系统 86 

7.3 处理系统 86 

7.4 处理设备 92 

7.5 自动控制及安全措施 95 

8 特种废气系统 97 

8.1 一般规定 97 

8.2 烷类尾气处理系统 98 

8.3 全氟化合物（PFC）尾气处理系统 99 

8.4 其他特种尾气处理系统 99 

8.5 中央废气处理系统 99 

9 除尘系统 100 

9.1 一般规定 100 

9.2 系统设计、处理流程及方法 100 

9.3 处理设备 102 

9.4 风管及附件 103 

10 电子玻璃窑炉废气系统 104 

10.1 一般规定 104 

10.2 系统设计、处理流程及方法 104 

10.3 处理设备 106 

10.4 风管及附件 108 

11 事故通风 109 

11.1 一般规定 109 

11.2 系统设计及有害气体净化 110 

12 电气设计 113 

12.1 供配电与照明 113 

12.2 防雷与接地 113 

3.0.3 下列情况之一时，应单独设置排风系统：

1 不同排风点不同的有害物质混合后能引起燃烧或爆炸；

2 混合后能产生或加剧腐蚀性或毒性；

3 混合后易使蒸汽凝结并聚积粉尘；

4 散发极毒和剧毒物质的房间和设备；

5 排风中含有燃烧爆炸性气体。

3.0.6 排风系统设计应符合下列规定：

1 含有燃烧爆炸性物质的局部排风系统应按物理化学性质采取相应的防火防爆措施；

3.0.8 废气处理系统的设备符合下列条件之一时，应采用防爆型：

1 直接布置在爆炸危险性区域内时；

2 排除、输送或处理有甲、乙类物质，其浓度为爆炸下限10%及以上时；

3 排除、输送或处理有燃烧或爆炸危险的粉尘、纤维物质，其含尘浓度为其爆炸下限的25%及以上时。

3.0.10 有爆炸危险厂房内的排风风管，严禁穿过防火墙和有爆炸危险的车间隔墙。

3.0.17 排风中含有燃烧爆炸性、毒性物质时，排风系统设计应符合下列规定：

1 燃烧爆炸性、毒性物质未经处理的排风管路，应保持相对于路由区域的负压值；

2 中央废气处理系统应按一级负荷供电，一级负荷供电的电量应保证系统排风量不小于正常运行时系统排风量的50%；

3 排风中含有燃烧爆炸性物质时，排风机应设置备用；

4 排风中含有极毒或剧毒物质时，排风机和处理设备均应设置备用。