GB51370-2019 1
1 总则 11
2 术语 12
3 基本规定 13
4 工艺 14
4.1 一般规定 14
4.2 基本工序 14
4.3 工艺区划 15
4.4 设备配置 15
5 总图 16
5.1 厂址选择 16
5.2 总平面布置 16
5.3 竖向设计 17
5.4 交通组织 17
6 建筑 18
6.1 一般规定 18
6.2 建筑防火 18
6.3 室内装修 19
7 结构 20
7.1 一般规定 20
7.2 结构方案 20
7.3 防微振 20
8 气体动力 22
8.1 冷热源 22
8.2 大宗气体 22
8.3 特种气体供应 23
8.4 压缩空气 24
8.5 工艺真空和清扫真空 25
9 供暖、通风、空气调节与净化 27
9.1 一般规定 27
9.2 供暖、通风与废气处理 27
9.3 空气调节与净化 29
9.4 防烟排烟 30
10 给水排水 31
10.1 一般规定 31
10.2 给水排水 31
10.3 纯水 32
10.4 工艺冷却循环水 32
10.5 废水 33
10.6 消防 34
11 电气 35
11.1 供电系统 35
11.2 低压配电及电气照明 35
11.3 信息与自控 36
11.4 防雷接地 38
12 节能 39
附录A 薄膜太阳能电池典型生产工艺流程 42
本标准用同说明 44
引用标准名录 45
附: 条文说明 47
1 总则 51
4 工艺 52
4.1 一般规定 52
4.2 基本工序 52
4.3 工艺区划 53
4.4 设备配置 54
5 总图 56
5.1 厂址选择 56
5.2 总平面布置 56
5.4 交通组织 56
6 建筑 58
6.2 建筑防火 58
6.3 室内装修 59
7 结构 60
7.2 结构方案 60
8 气体动力 61
8.2 大宗气体 61
8.3 特种气体供应 62
9 供暖、通风、空气调节与净化 63
9.2 供暖、通风与废气处理 63
9.4 防烟排烟 63
10 给水排水 64
10.1 一般规定 64
10.2 给水排水 64
10.4 工艺冷却循环水 65
10.5 废水 65
10.6 消防 66
11 电气设计 67
11.1 供电系统 67
11.2 低压配电及电气照明 67
11.3 信息与自控 68
11.4 防雷接地 70
12 节能 71
6.2.5 厂房各层外墙应设置可供消防人员进入的专用消防口。
6.2.6 厂房内存放PVB 膜、EVA 膜的中间仓库，应采用防火墙和耐火极限不低于1.50h 的不燃性楼板与其他部分分隔。
8.2.3 氢气、氧气管道采取安全技术措施应符合下列规定:
1 严禁穿过生活间、办公室;
2 当必须穿过不使用此类气体的其他房间时，应设套管或使用双层管;
3 应设置导除静电的接地设施;
4 引入管道上应设置自动切断阀。
8.2.4 氢气管道的干管终端或最高点应设置放散管。放散管应引至室外，放散管管口应高出本建筑屋脊1. 00m ，并应设置阻火器以及防雨雪、防杂物侵入的装置。放散管应设防雷保护设施。
8.3.3 厂房内自燃、易燃、腐蚀性或有毒特种气体输送系统的设置，应符合下列规定:
1 特种气体钢瓶应设置在具有连续机械排风的特种气体钢瓶柜中;
2 排风系统、泄漏报警、自动切断阀均应设置应急电源;
3 特种气体分配系统设置支管或供应多台生产设备使用时，应设置阀门箱或多路阀门箱。
8.3.4 特种气体分配系统应符合下列规定:
1 设置吹扫盘;
2 设置紧急切断装置;
3 设置过流量控制装置;
4 不相容特种气体不得共用吹扫氮气源。
9.2.9 化学气相沉积设备尾气处理设备间应设置不低于12 次/h的事故排风系统。
10.2. 1 下列场所应设置紧急冲身洗眼器，冲身洗眼器的服务半径不应大于15m:
1 毒性、腐蚀性特种气体的储存间及其他可能产生泄漏，并对人员造成伤害的区域;
2 危险化学品储存、配制及其他可能产生泄漏，并对人员造成伤害的区域。
11.3.5 下列场所应设置气体泄漏报警装置:
1 易燃、易爆、有毒气体的使用场所及气体管道入口室的管道阀门或接头及其他易泄漏处;
2 易燃、易爆、有毒气体的储存、分配场所;
3 易燃、易爆、有毒气体气瓶柜和分配阀门箱内。
11.3.7 气体泄漏报警的联动控制应符合下列规定:
1 应自动启动相应的事故排风装置，并应接受反馈信号;
2 应自动关闭相关部位的进气气体切断阀，并应接受反馈信号;
3 应自动启动泄漏现场及值班室的声光报警装置。
11.3.10 特种气体的储存、分配和使用场所应设置视频监控和门禁系统。