GB51343-2018 1 

1 总则 11 

2 术语 12 

3 基本规定 13 

4 生产线工艺设计 15 

4.1 工艺流程 15 

4.2 设备配置 16 

4.3 工艺布局 18 

5 配套设施要求 20 

5.1 表面处理工艺 20 

5.2 装配、焊接工艺 21 

5.3 排气工艺 22 

5.4 老炼及测试工艺 22 

6 设备安装 24 

6.1 安装条件 24 

6.2 设备开箱 24 

6.3 设备搬运 25 

6.4 设备安装 25 

6.5 二次配管配线 30 

7 设备调试与试运行 32 

7.1 一般规定 32 

7.2 清洗、镀覆设备调试与试运行 32 

7.3 装配、焊接和排气设备调试与试运行 34 

7.4 老炼设备调试与试运行 37 

7.5 测试设备调试与试运行 38 

7.6 自动化生产线联线调试与试运行 40 

8 工程验收 42 

8.1 一般规定 42 

8.2 交接验收 42 

8.3 竣工验收 43 

8.4 验收不合格的处置 43 

附录A 真空电子器件生产线设备安装工程施工工艺条件 44 

附录B 真空电子器件生产线设备安装工程质量验收记录用表 47 

本标准用词说明 55 

引用标准名录 56 

附: 条文说明 57 

1 总则 60 

3 基本规定 61 

4 生产线工艺设计 63 

4.1 工艺流程 63 

5 配套设施要求 65 

5.1 表面处理工艺 65 

5.2 装配、焊接工艺 65 

5.3 排气工艺 65 

5.4 老炼及测试工艺 66 

6 设备安装 67 

6.4 设备安装 67 

6.5 二次配管配线 67 

5.1.4 表面处理工艺使用腐蚀性化学品区域应设置紧急冲身洗眼器。

5.2.5 用氢场所应设置机械通风装置和事故排风装置; 应设置气体泄漏报警装置，并与事故排风装置联锁。

5.4.3 高压老炼和测试场所应设置紧急制动装置和门机联锁装置。