GB50073-2013 1

1总则 11

2术语 13

3空气洁净度等级 17

4总体设计 19

4.1洁净厂房委会选择和总平面布置 19

4.2工艺平面布置和设计综合协调 19

4.3人员净化和物料净化 20

4.4噪声控制 22

4.5维振控制 23

5建筑 25

5.1一般规定 25

5.2防火和疏散 25

5.3室内装修 27

6空气净化 29

6.1一般规定 29

6.2洁净室压差控制 30

6.3气流流型和送风量 30

6.4空气净化处理 31

6.5采暖通风、防排烟 32

6.6风管和附件 33

7给水排水 35

7.1一般规定 35

7.2给水 35

7.3排水 36

7.4消防给水和灭火设备 36

8工业管道 38

8.1一般规定 38

8.2管道材料和阀门 39

8.3管道连接 39

8.4安全技术 40

9电气 42

9.1配电 42

9.2照明 42

9.3通信 43

9.4自动控制 44

9.5静电防护及接地 44

附录A洁净室或洁净区性能测试和认证 46

附录B洁净厂房生产工作间的火灾危险性分类举例 52

附录C净化空调系统设计对维护管理的要求 53

本规范用词说明 54

引用标准名录 55

附：条文说明 57

1总则 60

3空气洁净度等级 61

4总体设计 62

4.1洁净厂房委会选择和总平面布置 62

4.2工艺平面布置和设计综合协调 65

4.3人员净化和物料净化 66

4.4噪声控制 70

4.5维振控制 74

5建筑 76

5.1一般规定 76

5.2防火和疏散 76

5.3室内装修 80

6空气净化 82

6.1一般规定 82

6.2洁净室压差控制 83

6.3气流流型和送风量 86

6.4空气净化处理 88

6.5采暖通风、防排烟 90

6.6风管和附件 91

7给水排水 93

7.1一般规定 93

7.2给水 94

7.3排水 95

7.4消防给水和灭火设备 96

8工业管道 99

8.1一般规定 99

8.2管道材料和阀门 102

8.3管道连接 103

8.4安全技术 105

9电气 107

9.1配电 107

9.2照明 109

9.3通信 112

9.4自动控制 113

9.5静电防护及接地 114

附录A洁净室或洁净区性能测试和认证 116

3．0．1 洁净室及洁净区内空气中悬浮粒子空气洁净度等级应符合下列规定：

1 洁净室及洁净区空气洁净度整数等级应按表3．0．1确定。

注：按不同的测量方法，各等级水平的浓度数据的有效数字不应超过3位。

2 各种要求粒径D的最大浓度限值Cn应按下式计算：

式中：Cn——大于或等于要求粒径的最大浓度限值(pc／m³)。Cn是四舍五入至相近的整数，有效位数不超过三位数；

N——空气洁净度等级，数字不超过9，洁净度等级整数之间的中间数可以按0．1为最小允许递增量；

D——要求的粒径(μm)；

0．1——常数，其量纲为，μm。

3 当工艺要求粒径不止一个时，相邻两粒径中的大者与小者之比不得小于1．5倍。

4．2．3 洁净厂房内应少设隔间，但在下列情况下应进行分隔：

1 按生产的火灾危险性分类，甲、乙类与非甲、乙类相邻的生产区段之间，或有防火分隔要求者。

4．4．1 洁净室内的空态噪声级，非单向流洁净室不应大于60dB(A)，单向流、混合流洁净室不应大于65dB(A)。

5．2．1 洁净厂房的耐火等级不应低于二级。

5．2．4 洁净室的顶棚、壁板及夹芯材料应为不燃烧体，且不得采用有机复合材料。顶棚和壁板的耐火极限不应低于0．4h，疏散走道顶棚的耐火极限不应低于1．0h。

5．2．5 在一个防火分区内的综合性厂房，洁净生产区与一般生产区域之间应设置不然烧体隔断措施。隔墙及其相应顶棚的耐火极限不应低于1h，隔墙上的门窗耐火极限不应低于0．6h。穿隔墙或顶板的管线周围空隙应采用防火或耐火材料紧密填堵。

5．2．6 技术竖井井壁应为不燃烧体，其耐火极限不应低于1h。井壁上检查门的耐火极限不应低于0．6h；竖井内在各层或间隔一层楼板处，应采用相当于楼板耐火极限的不燃烧体作水平防火分隔；穿过水平防火分隔的管线周围空隙应采用防火或耐火材料紧密填堵。

5．2．7 洁净厂房每一生产层，每一防火分区或每一洁净区的安全出口数量不应少于2个。当符合下列要求时可设1个：

1 对甲、乙类生产厂房每层的洁净生产区总建筑面积不超过100m²，且同一时间内的生产人员总数不超过5人。

2 对丙、丁、戊类生产厂房，应按现行国家标准《建筑设计防火规范》GB 50016的有关规定设置。

5．2．8 安全出入口应分散布置，从生产地点至安全出口不应经过曲折的人员净化路线，并应设有明显的疏散标志，安全疏散距离应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》GB 50016的有关规定。

5．2．9 洁净区与非洁净区、洁净区与室外相通的安全疏散门应向疏散方向开启，并应加闭门器。安全疏散门不应采用吊门、转门、侧拉门、卷帘门以及电控自动门。

5．2．10 洁净厂房同层洁净室（区)外墙应设可供消防人员通往厂房洁净室(区)的门窗，其门窗洞口间距大于80m时，应在该段外墙的适当部位设置专用消防口。

专用消防口的宽度不应小于750mm，高度不应小于1800mm，并应有明显标志。楼层的专用消防口应设置阳台，并从二层开始向上层架设钢梯。

5．2．11 洁净厂房外墙上的吊门、电控自动门以及装有栅栏的窗，均不应作为火灾发生时提供消防人员进入厂房的入口。

5．3．5 洁净室(区)和人员净化用室设置外窗时，应采用双层玻璃固定窗，并应有良好的气密性。

5．3．10 室内装修材料的燃烧性能必须符合现行国家标准《建筑内部装修设计防火规范》GB 50222的有关规定。装修材料的烟密度等级不应大于50，材料的烟密度等级试验应符合现行国家标准《建筑材料燃烧或分解的烟密度试验方法》GB／T 8627的有关规定。

6．1．5 洁净室内的新鲜空气量应取下列两项中的最大值：

1 补偿室内排风量和保持室内正压值所需新鲜空气量之和。

2 保证供给洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m³。

6．2．1 洁净室(区)与周围的空间必须维持一定的压差，并应按工艺要求决定维持正压差或负压差。

6．3．2 洁净室的送风量应取下列三项中的最大值：

1 满足空气洁净度等级要求的送风量。

2 根据热、湿负荷计算确定的送风量。

3 按本规范第6．1．5条的要求向洁净室内供给的新鲜空气量。

6．5．1 空气洁净度等级严于8级的洁净室不得采用散热器采暖。

6．5．3 在下列情况下，局部排风系统应单独设置：

1 排风介质混合后能产生或加剧腐蚀性、毒性、燃烧爆炸危险性和发生交叉污染。

2 排风介质中含有毒性的气体。

3 排风介质中含有易燃、易爆气体。

6．5．4 洁净室的排风系统设计应符合下列规定：

1 应防止室外气流倒灌。

2 含有易燃、易爆物质的局部排风系统应按物理化学性质采取相应的防火防爆措施。

3 排风介质中有害物浓度及排放速率超过国家或地区有害物排放浓度及排放速率规定时，应进行无害化处理。

4 对含有水蒸气和凝结性物质的排风系统，应设坡度及排放口。

6．5．6 根据生产工艺要求应设置事故排风系统。事故排风系统应设自动和手动控制开关，手动控制开关应分别设在洁净室内、外便于操作处。

6．5．7 洁净厂房排烟设施的设置应符合下列规定：

1 洁净厂房中的疏散走廊应设置机械排烟设施。

6．6．2 下列情况之一的通风、净化空调系统的风管应设防火阀：

1 风管穿越防火分区的隔墙处，穿越变形缝的防火隔墙的两侧。

2 风管穿越通风、空气调节机房的隔墙和楼板处。

3 垂直风管与每层水平风管交接的水平管段上。

6．6．6 风管、附件及辅助材料的耐火性能应符合下列规定：

1 净化空调系统、排风系统的风管应采用不燃材料。

2 排除有腐蚀性气体的风管应采用耐腐蚀的难燃材料。

3 排烟系统的风管应采用不燃材料，其耐火极限应大于0．5h。

4 附件、保温材料、消声材料和粘结剂等均采用不燃材料或难燃材料。

7．3．2 洁净室内的排水设备以及与重力回水管道相连接的设备，必须在其排出口以下部位设水封装置，排水系统应设有完善的透气装置。

7．3．3 洁净室内地漏等排水设施的设置应符合下列规定：

1 空气洁净度等级严于6级的洁净室内不应设地漏。

4 空气洁净度等级等于或严于7级的洁净室内不应穿过排水立管，其他洁净室内穿过排水立管时不应设检查口。

7．4．1 洁净厂房必须设置消防给水设施，消防给水设施设置设计应根据生产的火灾危险性、建筑物耐火等级以及建筑物的体积等因素确定。

7．4．3 洁净室的生产层及可通行的上、下技术夹层应设置室内消火栓。消火栓的用水量不应小于10L／s，同时使用水枪数不应少于2只，水枪充实水柱长度不应小于10m，每只水枪的出水量应按不小于5L／s计算。

7．4．4 洁净厂房内各场所必须配置灭火器，配置灭火器设计应符合现行国家标准《建筑灭火器配置设计规范》GB 50140的有关规定。

7．4．5 洁净厂房内设有贵重设备、仪器的房间设置固定灭火设施时，除应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》GB 50016的有关规定外，还应符合下列规定：

2 当设置气体灭火系统时，不应采用卤代烷1211以及能导致人员窒息和对保护对象产生二次损害的灭火剂。

8．1．1 洁净室(区)工业管道的敷设应符合下列规定：

4 当易燃、易爆、有毒物质管道敷设在技术夹层或技术夹道内时，必须采取可靠的浓度检测报警、通风措施。

8．1．5 可燃气体管道、氧气管道的末端或最高点均应设置放散管。放散管引至室外应高出屋脊1m，并应有防雨、防杂物侵入的措施。

8．1．8 洁净厂房内、生产类别为现行国家标准《建筑设计防火规范》GB 50016规定的甲、乙类气体、液体入口室或分配室的设置应符合下列规定：

1 当毗连布置时，应设在单层厂房靠外墙或多层厂房的最上一层靠外墙处，并应与相邻房间采用耐火极限大于3．0h的隔墙分隔。

2 应有良好的通风。

3 泄压设施和电气防爆应按现行国家标准《建筑设计防火规范》GB 50016、《爆炸和火灾危险环境电力装置设计规范》GB50058的有关规定执行。

8．4．1 下列部位应设可燃气体报警装置和事故排风装置，报警装置应与相应的事故排风机连锁：

1 生产类别为甲类的气体、液体入口室或分配室。

2 管廊，上、下技术夹层，技术夹道内有可燃气体的易积聚处。

3 洁净室内使用可燃气体处。

8．4．2 可燃气体管道应采取下列安全技术措施：

2 引至室外的放散管应设置阻火器，并应设置防雷保护设施。

3 应设导除静电的接地设施。

8．4．3 氧气管道应采取下列安全技术措施：

1 管道及其阀门、附件应经严格脱脂处理。

2 应设导除静电的接地设施。

9．2．2 洁净室内一般照明灯具应为吸顶明装。当灯具嵌入顶棚暗装时，安装缝隙应有可靠的密封措施。洁净室应采用洁净室专用灯具。

9．2．5 洁净厂房内备用照明的设置应符合下列规定：

1 洁净厂房内应设置备用照明。

9．2．6 洁净厂房内应设置供人员疏散用的应急照明。在安全出口、疏散口和疏散通道转角处应按现行国家标准《建筑设计防火规范》GB 50016的有关规定设置疏散标志。在专用消防口处应设置疏散标志。

9．3．3 洁净厂房的生产层、技术夹层、机房、站房等均应设置火灾报警探测器。洁净厂房生产区及走廊应设置手动火灾报警按钮。

9．3．4 洁净厂房应设置消防值班室或控制室，并不应设在洁净区内。消防值班室应设置消防专用电话总机。

9．3．5 洁净厂房的消防控制设备及线路连接应可靠。控制设备的控制及显示功能应符合现行国家标准《火灾自动报警系统设计规范》GB 50116的有关规定。洁净区内火灾报警应进行核实，并应进行下列消防联动控制：

1 应启动室内消防水泵，接收其反馈信号。除自动控制外，还应在消防控制室设置手动直接控制装置。

2 应关闭有关部位的电动防火阀，停止相应的空调循环风机、排风机及新风机，并应接收其反馈信号。

3 应关闭有关部位的电动防火门、防火卷帘门。

4 应控制备用应急照明灯和疏散标志灯燃亮。

5 在消防控制室或低压配电室，应手动切断有关部位的非消防电源。

6 应启动火灾应急扩音机，进行人工或自动播音。

7 应控制电梯降至首层，并接收其反馈信号。

9．3．6 洁净厂房中易燃、易爆气体、液体的贮存和使用场所及入口室或分配室应设可燃气体探测器。有毒气体、液体的贮存和使用场所应设气体检测器。报警信号应联动启动或手动启动相应的事故排风机，并应将报警信号送至消防控制室。

9．4．3 净化空调系统的电加热器应设置无风、超温断电保护装置。当采用电加湿器时，应设置无水保护装置。

9．5．2 洁净室(区)内的防静电地面，其性能应符合下列规定：

1 地面的面层应具有导电性能，并应保持长时间性能稳定。

2 地面的面层应采用静电耗散性的材料，其表面电阻率应为1．0×10⁵Ω/□~1．0×10¹²Ω/□或体积电阻率为1．0×10⁴Ω．cm~1．0×10¹¹Ω．cm。

3 地面应设有导电泄放措施和接地构造，其对地泄放电阻值应为1．0×10⁵Ω~1．0×10⁹Ω。

9．5．4 洁净室内可能产生静电危害的设备、流动液体、气体或粉体管道应采取防静电接地措施，其中有爆炸和火灾危险场所的设备、管道应符合现行国家标准《爆炸和火灾危险环境电力装置设计规范》CB 50058的有关规定。

9．5．7 接地系统采用综合接地方式时接地电阻值应小于或等于1Ω；选择分散接地方式时，各种功能接地系统的接地体必须远离防雷接地系统的接地体，两者应保持20m以上的间距。洁净厂房的防雷接地系统设计应符合现行国家标准《建筑物防雷设计规范》GB 50057的有关规定。